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小型蒸镀仪KT-Z1650CVD

产品简介

小型蒸镀仪KT-Z1650CVD是2138cn太阳集团古天乐生产,台式设计、软件自动操控、高性价比,非常适合实验室科研使用。 通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面。软件自动操控、工艺储存,高性价比,非常适合实验室科研使用。称为热蒸发镀膜,热蒸发镀膜技术是历史最悠久的PVD镀膜技术之一。热蒸发镀膜机一般主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等。

产品型号:
更新时间:2024-03-27
厂商性质:生产厂家
访问量:2980
详细介绍在线留言
品牌郑科探产地类别国产
应用领域化工,电子

一、技术原理:  

(1)小型蒸镀仪KT-Z1650CVD,台式设计、软件自动操控、高性价比,非常适合实验室科研使用。  

(2)通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为热蒸发镀膜,热蒸发镀膜技术是历史最悠久的PVD镀膜技术之一。热蒸发镀膜机一般主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下为蒸发镀膜设备的示意图。  


二、真空度越高越不易氧化越接近金属本色:  

★玻璃钟罩真空腔室,最直观的蒸发状态和薄膜沉积现象观察;  

★复合分子泵和直联旋片泵,大抽速准无油真空系统(分子泵抽速≥400L/S);

★两组水冷式蒸发电极,可长时间稳定工作,兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计;

★专业真空蒸发电源,数显工作电流和电压,恒流输出;  

★可定制一体化高精度刻蚀掩膜板;  

★衬底可选择加热或水冷,源基距≥300mm;  

★可调速旋转靶台使薄膜更均匀  

★可沉积金属(Au,Ag,Al,Ca,Cu,Mg,Fe,Cr,Ni等)、非金属、化合物(MoO3,LiF等)及有机物材料,可拓展沉积单层膜、多层膜及混合膜;  

★7寸显示器定时定点调节电流,达到控制功率效果  

★具有记忆储存功能,直接调出已储存的数据进行镀膜达到同样工艺效果  

★配置了靶台挡板,可手动调节或自动调节挡板,及时遮挡样品,保证样品效果


三、技术支持&服务:  

1.技术支持:在合同签订之前,2138cn太阳集团古天乐的专业工程师会在充分了解客户需求的前提下,为客户做出*的选型和方案设计,使客户充分了解并理解产品技术指标、性能用途、使用场合、安全注意事项等,以帮助客户做出正确的选择。

2.安装与培训:在产品使用前,2138cn太阳集团古天乐会派专业工程师为您提供现场技术支持、培训及演示服务。  

3.产品质保:2138cn太阳集团古天乐对产品提供12个月的质保期,在质保期内发生设备或配件损坏由公司负责赔偿或免费维修。(耗材和易损件除外)  

4.终身维护:2138cn太阳集团古天乐对提供的产品提供终身服务,对于超过质保期限的维修、维护仅收取材料费,免除一切人工费用。

       image.png  

以下是不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图

637858771737832260197.png   原样品没有镀膜                       637858771732996198687.png  115A 100秒 机械泵

637858771732840196319.png115A 100秒 分子泵抽12分钟    637858771732684194803.png  115A 120秒 分子泵抽20分钟

637844882350281266506.jpg

四、小型蒸镀仪KT-Z1650CVD技术资料:

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

加热方式

数字式功率调整器

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

最大功率

1200W

最大输出电压电流

电压≤12V  电流≤120A

真空度

机械泵 ≤5Pa5分钟)   分子泵≤10^-3Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm

样品台

可旋转φ62  (最大可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品蒸发源调节距离

70-140mm

蒸发温度调节

1800

支持蒸发坩埚类型

钨丝蓝  带坩埚钨丝蓝  钨舟  碳绳  

预留真空接口

KF25抽气口  KF16真空计接口  KF16放气口 6mm卡套进气口

可选配扩展

机械真空泵(可抽真空 5分钟<5Pa  

数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa

分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10-3Pa







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